После более 20 лет работ и миллиардов затраченных долларов EUV-литография начала использоваться в массово-поточном производстве. Первопроходцем в июне 2018 г. стала корпорация Samsung, позже к ней присоединился крупнейший кремниевый завод TSMC. В 2019 г. ожидается поставка 30 EUV-установок корпорации ASML. Тем не менее по мере освоения в производстве данной технологии литографии обнаруживаются новые проблемы, в частности с готовностью EUV-шаблонов.