МEMS/NEMS

Тенденции рынка пьезоэлектрических MEMS
Прогноз индустрии MEMS на 2021 год
Yole Développement: исследование рынка MEMS
MEMS-генераторы вместо кварцевых: разработка, выпуск, стоимость
Пьезоэлектрические MEMS‑микрофоны корпорации Vesper Technologies
MEMS в линзе миниатюризирует лазерный микроскоп
EV Group: первая технология бесшаблонной литографии  для массового производства
Состояние рынка MEMS  и корпоративная политика TDK InvenSense
Умное зеркало на базе MEMS измеряет мощность лазера
Датчики MEMS как основа БПЛА