В 1971 г., по распоряжению министерства электронной промышленности СССР, ЦНИИ «Электроника» приступил к подготовке и изданию научно-технического бюллетеня «Экспресс-информация по зарубежной электронной технике». Это издание было ориентировано на широкий круг отраслевых специалистов и специалистов смежных отраслей, студентов и преподавателей профильных ВУЗов. Первоначально бюллетень издавался ежедневно по рабочим дням, с 1992 г. он стал выходить раз в неделю, а с августа 2016 г. (после объединения с научно-техническим сборником «Зарубежная электронная техника», издававшегося институтом с 1970 г.) – раз в две недели.

В выпуске 129/130 (4174/4175) научно-технического бюллетеня «Экспресс-информация по зарубежной электронной технике» от 2/3 июля 1987 г. была опубликована статья О.М. Стасовой: «Технологические газы: современное состояние и ближайшие перспективы». В статье говорилось, что «… технологические газы находят применение практически на всех этапах производства полупроводниковых приборов — от роста кристаллов до сборки и корпусирования. В настоящее время в полупроводниковом производстве используется около 40 разновидностей газов, которые по назначению можно разделить на две категории; для получения требуемой среды при проведении технологических процессов (азот, кислород, водород, аргон) и специальные (для выращивания кремния, плазмохимического травления, продувки рабочих объемов установок и газы-диффузанты и реагенты).

Объем, потребления технологических газов в полупроводниковой промышленности зависит как от состояния рынка кремния, так и от основных направлений совершенствования технологии (см. таблицу).

Динамика мирового объема продаж технологических газов в полупроводниковой промышленности (данные фирмы Dataquest)

*Из расчета 1 долл.= 1,4 руб.

Так, широкое использование процессов ионной имплантации привело к некоторому уменьшению объема продаж специальных газов (диффузантов), однако развитие технологии плазменного травления способствует увеличению их потребления.

Наиболее широко в полупроводниковой промышленности используется азот (95% объема потребления газов первой категории). Потребность в нем (которая в период 1984—1989 гг. будет постоянно увеличиваться) определяется не только объемом производства кремниевых структур, но и установленным на предприятиях технологическим оборудованием. Азот используется и для заполнения объемов технологических установок и транспортных линий в периоды между рабочими циклами. (Правда, в настоящее время при отжиге тонких слоев подзатворного окисла наблюдается тенденция к использованию в качестве инертной среды аргона вместо азота) [1].

В настоящее время продажи технологических газов устойчиво растут. Консалтинговая фирма TECHCET, специализирующаяся на электронных материалах, предсказала что общий объем рынка газов для производства электронных компонентов достигнет в 2021 г. 6,25 млрд долл., что на 7% больше, чем в 2020 г. В течение следующих нескольких лет устойчивый рост продлится благодаря растущему спросу на ИС и расширению их производства по всему миру.

При этом сегмент объемного (в отличие от сжатого в баллонах) газа в 2021 г. составил ~ 1,71 млрд долл. (+3,3%), а сегмент специализированного газа - ~ 4,53 млрд долл. (+8,4%). Основными факторами роста продаж стал спрос на ИС для вычислительной техники и автомобильной электроники. Основные риски – геополитика и сокращение цепочек поставок по отношению к спросу.

Крупнейшими поставщиками являются фирмы Linde, Air Liquide, Nippon Sanso Holdings,Air Products, EMD Electronics (Merck/Versum), Showa Denko и Messer [2].

1. О.М. Стасова. «Технологические газы: современное состояние и ближайшие перспективы». «Экспресс-информация по зарубежной электронной технике», выпуск 129/130 (4174/4175) от 2/3 июля 1987 г.

2. Pete Singer. 2021 Electronic Gas Market to Reach $6.25B up 7%+. Semiconductor Digest, May 19, 2021

https://www.semiconductor-digest.com/2021/05/19/2021-electronic-gas-market-to-reach-6-25b-up-7/